玄微

这台机器的架构和FEL-3000有着本质的不同。

　　传统光刻机的核心是光源、物镜和工件台三套子系统的串联协同，而量子芯片的制造对超导薄膜的界面缺陷密度有极其苛刻的要求，任何微小的杂质或界面不平整都会在量子比特的相干时间内造成致命的退相干。

　　所以，这台量子光刻机在FEL-3000的基础上针对量子芯片的特殊工艺做了深度优化，肖宿把整个光刻流程从曝光到显影到刻蚀全部改成了闭环的自适应控制，每一个工艺步骤都引入了实时的波前检测和反馈补偿机制，用商空间降维框架把光刻过程中所有可能影响量子芯片质量的自由度全部都映射到了同一个优化空间里进行协同控制。

　　高长平看着眼前这台机器上那些他从未见过的光路布局和传感阵列，心里满是震撼，眼睛一眨不眨，生怕错过什么。

　　不过，机器的组装完成只是第一步。

　　光刻机最重要的不是硬件本身，而是整个光路系统的精密校准和各个子系统之间的通信与同步，整个量子光刻机全部出自肖宿的手，系统的调节也只能他来了。

　　肖宿在控制台前坐了下来，开始逐项调试光源的波前整形参数、物镜的像差补偿曲线、工件台的位移同步精度。

　　他的手指在键盘上快速敲击着，屏幕上各项数据一行一行地跳出来，每一项都被他精准地调到了架构图中所要求的参数范围。

　　付培和几个核心工程师凑过来围在肖宿身后，全神贯注地盯着屏幕上的操作，恨不得把每一个步骤都刻进脑子里。

　　肖宿这次来是为了确保量子芯片可以顺利被造出来，以后恐怕没时间关注这些，以后这整条产线还是要靠他们来维护和迭代，现在不学，以后可就真抓瞎了。

　　要确保在这么精密的一个机器上，每个系统和指令都精确无误可不简单，肖宿也是花了将近两个小时才把整个系统调试完毕。

　　“可以了，接下来按照这套参数开始第一批量子芯片的试制。”

　　肖宿起身的动作惊到了站在身后看得入迷的付培几人，众人如梦初醒般给肖宿让出路来。

　　旁边一直等着的高长平听到这句话，长长地呼出了一口气。

　　总算是可以结束了。

　　他看了一眼监控屏幕上那台量子光刻机正在自动运行的初始化程序，对肖宿说：

　　“肖教授，量子芯片的试制大概需要好几天，您先回去休息？有结果了第一时间通知您。”

　　肖宿点了点头，脱下超净服递给旁边的工作人员，走出了量子芯片制造专区。

　　……

　　量子光刻机正式下线并投入量子芯片试制的消息传到量子信息科学中心的时候，整个课题组的气氛肉眼可见地变了。